空气中的化学污染物可能影响过滤器。电子工厂的排风系统出故障，或厂房内的挥发性、腐蚀性气体的泄漏都可能对过滤器造成致命伤害。E厂房和B厂房使用氢氟酸，在厂房顶部，有专门和处理排风酸雾的洗涤塔，用pH值超出8的碱溶液来清洗被排出气体中的酸雾，使之达到排放标准。正常情况下，在此周围的空调进风口吸进的新鲜空气中，酸的含量几乎可以忽略。但是，有时洗涤塔中用于中和酸雾的碱计量泵坏了，喷淋水溶液的pH值已低于5，排风酸超标，如果排风口离吸风口距离近，酸风再被空调箱吸进，就会对过滤器产生影响。氢氟酸和它的挥发物氟化氢对化纤材料制成的初、中效过滤器几乎没影响，但对玻璃纤维的HEPA过滤器影响巨大，它们腐蚀玻璃，与玻璃纤维反应生成氟化硅。我们曾观察HEPA过滤器的滤芯，看到一层灰白色的粉末，化学分析的结果是含F和Si 元素的物质。
多数情况下，对设计合理的空调系统，空气中的氟化氢含量不高，过滤器被腐蚀的现象不很严重。可怕的是，现场常规过滤器检测手段无法发现过滤器是否受到氟化氢腐蚀，更无法判定腐蚀程度。而HEPA空气过滤器受到腐蚀可能引发严重的生产和安全事故。
C工厂曾发生过一起严重的酸雾影响HEPA过滤器的事件。在彩色显象管涂层工序，出现废品时，需要用较浓的酸溶液清洗掉玻璃表面的涂层，有时废品较多，酸雾来不及从工位上的正常排风口排出，而扩散到整个厂房。有一次，弥散的酸雾竟将厂房的窗户上的玻璃腐蚀成了毛玻璃。室内空气中氟化氢因送风口的涡流作用接触HEPA过滤器的表面，将玻璃纤维过滤材料迅速腐蚀，造成了HEPA破损漏风。这样的事我们曾经遇到，HEPA过滤器刚换上去不到一年，就毁了。而这样的情况发生时，净化设备运行的人员，可能不会立即发现生产线的操作人员不当的操作，只能事先预防。
在国内众多生产彩色显象管的企业中，只有个别企业在有氢氟酸的车间采用全新风空调系统，以避免氢氟酸对空调系统，尤其是对过滤器的损害。上面提到的事例恰恰发生在最安全的全新风空调系统。多数企业出于节能考虑，同类车间采用的是少部分新风、大部分回风的空调系统，那些工厂的氢氟酸腐蚀过滤器问题可能更严重。在这里，我们仅说到了氢氟酸对设备的伤害，如果考虑它对操作工的伤害，空调行业可能需要对有氢氟酸车间的空调系统进行重新设计。
