洁净度等级标准

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ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)粒径、数值洁净度级别 尘埃最大允许数/立方米 微生物最大允许数 ≥0.5um ≥5um 浮游菌/立方米 沉降菌/皿 100 级 3,500 0 5 1 10,000 级 350,000 2,000 100 3 100,000 级 3,500,000 20,000 500 10 300,000 级 10,500,000 60,000 — 15 美国联邦标准 209D 洁净室分级:(已停用)空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 5 um 1 35 7.5 3 1 10 350 75 30 10 100 750 300 100 1000 1000 7 10000 10000 70 100000 10000 700 英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) 0.3um 0.5um 5um 10um 25 um C 100 35 0 D 1000 350 0 E 10000 3500 0 F 3500 0 G 100000 35000 200 0 H 35000 200 0 J 350000 2000 450 0 K 3500000 20000 4500 500 L 200000 45000 5000 M 450000 50000

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