高效空气过滤器(HEPA)过滤装置，一般用于无尘室,洁净车间，洁净厂房，实验室及洁净室，或者用于电子机械通信设备等的防尘。有初效空气过滤器，中效空气过滤器，高效空气过滤器及亚高效等型号。各种型号有不同的标准和使用效能。高效空气过滤器的原型是人们为保护呼吸而使用的呼吸保护器具。
据记载,早在一世纪的罗马,人们在提纯水银的时候就用粗麻制成的面具进行保护。在此之后的漫长时间里,高效空气过滤器也取得了进展,但其主要是作为呼吸保护器具用于一些危险的行业,如有害化学品的生产。1827年布朗发现了微小粒子的运动规律,人们对空气过滤的机理有了进一步的认识。高效空气过滤器的迅速发展是与军事工业和电子工业的发展紧密相关的。在第一次世界大战期间,由于各种化学毒剂的使用,以石棉纤维过滤纸作为滤烟层的军用防毒面具应运而生。玻璃纤维过滤介质用于空气过滤于1940年10月在美国取得专利。50年代,美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入的研究,使高效过空气滤器得到了改善和发展。60年代,HEPA过滤器问世;70年代,采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器,对013微米粒径的粒子过滤效率高达99.9998%。八十年代以来,随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高,发现HEPA过滤器存在着严重的问题,于是又产生了性能更高的ULPA过滤器。目前,各国仍在努力研究,估计不久就会出现更先进的高效过滤器。
高效过滤器的作用从气源出来的压缩空气中含有过量的水汽和油滴,同时还有固体杂质,如铁锈、沙粒、管道密封剂等,这些会损坏活塞密封环,堵塞元器件上的小排气孔,缩短元器件的使用寿命或使之失效，将压缩空气中的液态水、液态油滴分离出来,并滤去空气中的灰尘和固体杂质,但不能除去气态的水和油。
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