低成本高效的FFU循环系统成为设计方案之核心

        目前FFU在较小规模要求不高的的洁净室设计中被广泛应用,但FFU系统对于面积在洁净度要求高的洁净室则存在运行成本过高且占用空间过大等不足。

FFU正反面图示

FFU正反面

当下低成本高效的FFU系统成为设计方案之核心,设计高效的FFU系统要求可以满足集成电路制造中清洁净作业室大面积高等级的基本要求,传统的FFU系统设计方案普遍存在运行成本高,且洁净室内风速、风量不好调节,加之FFU系统升级改造困难,使之因此操作灵活性很低 不易清洁。

      为顺应市场做到FFU达洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性高,且在不影响生产作业 的情况下随时进行FFU系统升级和调整,系列方案都能很好地满足半导体产业制造的需求,因此在半导体产业制造业FFU循环系统逐渐成为洁净设计方案的主流!